机译:通过位错环的形成来抑制亚微米图案化硅模板中瞬态增强扩散
机译:通过氟注入抑制硼在硅和硅锗中的瞬态增强扩散
机译:B-Si_i-F配合物形成的预测及其在B瞬态中的作用增强扩散抑制和失活
机译:从硅注入到硅中硼和磷扩散和位错环生长的比较
机译:硼在硅中瞬态增强扩散的建模和控制。
机译:开关和模板图案形成在离散反应 - 扩散体系的启发果蝇眼
机译:通过高能氟注入减少硼热扩散和消除硼瞬态增强的硅扩散
机译:l brace 311(r brace)离子注入硅中的缺陷:瞬态扩散的原因,以及形成位错的机制